高純硅烷被日美掌控
南京亞格泰新能源材料有限公司董事長(zhǎng)陳關(guān)夫告訴記者，集成電路是微電子技術(shù)的核心，而硅烷、尤其是高純硅烷，已成為制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。隨著電子信息技術(shù)的飛速發(fā)展，集成度越來越高，硅烷的純度要求達(dá)到6N級(jí)（99.9999%）及以上。
據(jù)光明化工研究設(shè)計(jì)院總工程師孫福楠介紹，液晶顯示器、太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體是硅烷的三大主要應(yīng)用領(lǐng)域，此外還有少量用于生產(chǎn)感光材料。硅烷是特種氣體中的老大，它是一個(gè)國(guó)家氣體產(chǎn)業(yè)是否先進(jìn)的重要標(biāo)志。
談到目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)時(shí)，浙江大學(xué)余京松教授指出，由于不具備規(guī)模化的硅烷生產(chǎn)能力，國(guó)內(nèi)高純硅烷市場(chǎng)幾乎被日本、美國(guó)等發(fā)達(dá)國(guó)家所壟斷，使國(guó)內(nèi)非晶硅太陽(yáng)能電池和高效節(jié)能玻璃行業(yè)發(fā)展受到極大影響。2008年暴發(fā)的金融危機(jī)帶給國(guó)內(nèi)企業(yè)一個(gè)教訓(xùn)：
引進(jìn)技術(shù)難以開花結(jié)果
據(jù)余京松教授介紹，從1987年開始，我國(guó)就著手引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)來提高我國(guó)高純硅及高純硅烷的生產(chǎn)能力，但至今還沒有成功引進(jìn)國(guó)外技術(shù)的案例。
目前國(guó)際上生產(chǎn)硅烷的方法主要有日本小松電子法（硅化鎂法）、氫化鋰還原三氯氫硅法、美國(guó)MEMC公司專有的氫化鋁鈉還原四氟化硅法和UCC法（氯硅烷經(jīng)氫化和二次歧化反應(yīng))。這些技術(shù)在引進(jìn)過程中會(huì)往往面臨諸多問題。
除此之外，余京松認(rèn)為，引進(jìn)國(guó)外技術(shù)除了意味著要引進(jìn)全套的生產(chǎn)設(shè)備，還要被迫引進(jìn)關(guān)鍵的生產(chǎn)原料和催化劑。關(guān)鍵原料控制在別人手里, 很難發(fā)展獨(dú)立自主的電子工業(yè)。
硅烷國(guó)產(chǎn)化初戰(zhàn)告捷
2010年是中國(guó)電子氣體鳳凰涅磐的一年，經(jīng)歷了近三十年的艱苦磨練，終于在2010年發(fā)生了質(zhì)變。孫福楠預(yù)言，我國(guó)硅烷市場(chǎng)由發(fā)達(dá)國(guó)家完全壟斷的局面將被打破。
2008年的金融危機(jī)為硅烷國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展提供了機(jī)遇。受金融危機(jī)影響，進(jìn)口硅烷價(jià)格飛漲，面對(duì)引進(jìn)國(guó)外技術(shù)的碰壁和硅烷價(jià)格的飛漲，國(guó)內(nèi)企業(yè)開始嘗試?yán)脟?guó)產(chǎn)技術(shù)生產(chǎn)硅烷。余京松告訴記者，早在1967年，浙江大學(xué)就通過硅化鎂法成功制備了硅烷，擁有獨(dú)立自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。南京華特硅材料有限公司首先獲得了質(zhì)量不錯(cuò)的產(chǎn)品，緊接著，南京亞格泰新能源材料有限公司、安徽滁州市硅谷特種氣體有限公司、浙江賽林硅業(yè)有限公司和浙江金華美晶硅電子有限公司的硅烷裝置也陸續(xù)投產(chǎn)。這5家企業(yè)硅烷年產(chǎn)能為80～120噸，產(chǎn)能雖然不大，但硅烷企業(yè)如雨后春筍般涌現(xiàn)的可喜局面為業(yè)界帶來了信心。
記者了解到，截至目前，除了上述幾家企業(yè)已經(jīng)投產(chǎn)外，浙江中福硅能有限公司、浙江中寧硅業(yè)有限公司一期工程和英利“六九硅業(yè)”等大型項(xiàng)目正在建設(shè)中，一旦這3家企業(yè)建成投產(chǎn)，我國(guó)硅烷年產(chǎn)能將突破4000噸。
跨行業(yè)合作做大做強(qiáng)
對(duì)于硅烷國(guó)產(chǎn)化之路的發(fā)展，與會(huì)代表提出了各種建議。陳關(guān)夫認(rèn)為，國(guó)產(chǎn)硅烷做大做強(qiáng)還有很長(zhǎng)一段路要走，發(fā)達(dá)國(guó)家憑技術(shù)優(yōu)勢(shì)對(duì)硅烷實(shí)行打包銷售和貼牌銷售，導(dǎo)致國(guó)內(nèi)企業(yè)除了買他們的硅烷之外，還必須買他們精密的鋼瓶、閥門等設(shè)備。
他認(rèn)為，我國(guó)硅烷產(chǎn)業(yè)要有所突破，除了要開發(fā)生產(chǎn)技術(shù)之外，容器設(shè)備的制造技術(shù)也要跟上。另外，政府在政策上應(yīng)加大對(duì)國(guó)產(chǎn)硅烷開發(fā)的支持力度。上海浦江特種氣體有限公司的專家建議，可以參考發(fā)達(dá)國(guó)家的做法，跨行業(yè)間加強(qiáng)配合，氣體的純化、檢測(cè)、充裝、物流等各細(xì)分行業(yè)積極支持，降低產(chǎn)品的成本。另外，同行業(yè)間應(yīng)各取所長(zhǎng)，避免無序競(jìng)爭(zhēng)。
