新工藝以有機硅單體和多晶硅生產過程中的氯硅烷副產物為原料生產氣相二氧化硅產品，同時將氣相二氧化硅生產過程中的副產物氯化氫回收后進行再利用。該工藝已在樂山吉必盛硅材料有限公司等單位得到應用，建成了1250噸/年的氣相二氧化硅生產線。