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R-14制冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等，中文名稱四氟化碳、四氟甲烷，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14屬于FC類(lèi)物質(zhì)——對(duì)臭氧層沒(méi)有破壞、但存在溫室效應(yīng)；目前對(duì)于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷(xiāo)售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、售后設(shè)備上的再添加均沒(méi)有限制。
R-14主要用途
R-14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中（包括科研制冷、醫(yī)用制冷等），R14同時(shí)也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
R-14物化性質(zhì)
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冷媒名稱 |
R-14 |
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分子量 |
88.0 |
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沸點(diǎn)（1atm），℃ |
-128 |
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臨界溫度，℃ |
-45.67 |
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臨界壓力，kPa |
3740 |
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飽和蒸氣壓（25℃），kPa |
3650（-45.6℃） |
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汽化熱/蒸發(fā)潛熱（沸點(diǎn)下，1atm），kJ/kg |
- |
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破壞臭氧潛能值（ODP） |
0 |
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全球變暖潛能值(GWP，100 yr) |
5700 |
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ASHRAE安全級(jí)別 |
A1（無(wú)毒不可燃） |
R-14冷媒包裝
可重復(fù)使用高壓鋼瓶包裝（需回收包裝鋼瓶）：5kg/瓶，32kg/瓶。
R-14儲(chǔ)存、運(yùn)輸
R-14制冷劑鋼瓶為高壓容器，儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、避免陽(yáng)光直接曝曬，通常儲(chǔ)放于陰涼、干燥和通風(fēng)的倉(cāng)庫(kù)內(nèi)；搬運(yùn)時(shí)應(yīng)輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門(mén)等附件破損。
