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850(W)×1000(D)×1850(H)mm
◆ 倉體結(jié)構(gòu)(約200升)550(W)×700(D)×530(H)mm
◆ 電極面積550(W)×700(D)×530(H)mm，14層
◆ 等離子發(fā)生器(MF)頻率40KHZ,功率0-3KW連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配
◆ 控制系統(tǒng)有邏輯電路半自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)日本愛發(fā)科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)
進口氣動角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管，
德國英?？礗nficon高精度真空計、規(guī)管
◆ 處理氣體兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣）美國高精度浮子流量計、針閥，
美國世偉洛克Swagelok不銹鋼拋出現(xiàn)被限制詞語體管
