產(chǎn)品用途

 大平臺檢測金相顯微鏡作為高級工業(yè)顯微鏡還可進(jìn)行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛應(yīng)用于太陽能電池硅片制造業(yè)、半導(dǎo)體晶圓制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)；還應(yīng)用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校等。

性能特點

1．采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2．拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3．采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
4．WF10X（Φ25）超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡。
5．可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。

產(chǎn)品圖片

技術(shù)參數(shù)

光學(xué)系統(tǒng) UIS 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)
光路設(shè)計 反射光路設(shè)計
觀測方式 明/暗場觀測、偏光觀測、微分干涉（DIC）觀測
放大倍數(shù)　 50X-1000X（可擴展至2000X）
目鏡 超寬場、超大視場目鏡10× 視場直徑達(dá)到￠25mm
物鏡 平場無限遠(yuǎn)長工作 距離明暗場物鏡：（標(biāo)配四個）
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm20×/0.4B.D/W.D.10.6mm40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
轉(zhuǎn)換器　　 帶微分干涉（DIC）插口的四孔轉(zhuǎn)換器
偏光裝置　 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
濾光裝置　 插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）
聚光鏡　　 NA1.25阿貝聚光鏡帶可變光欄和濾色片
數(shù)碼系統(tǒng)　 300萬像素彩色CCD系統(tǒng)，實時視頻輸出、數(shù)碼拍照、各種圖像處理功能
圖像軟件　 可實現(xiàn)對顯微圖像的線寬、線距、角度、兩點間距離、圓、平行線間距離、任意曲線長度任意多邊形等的幾何尺寸測量。精度可達(dá)±1μm. 可拍照數(shù)碼照片進(jìn)行分析、存儲、處理等
調(diào)焦系統(tǒng)　 具有粗、微調(diào)同軸調(diào)節(jié)，行程40mm，微動格值0.002mm
載物臺　　 二維移動載物臺，低位同軸手輪操作
X、Y移動范圍：250mm×250mm；平臺尺寸： 350mm×310mm
照明系統(tǒng)　 落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素?zé)?2V/100W，
AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)