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WB300采用專利高密度微波等離子技術(shù)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理，微波等離子高度活性、高效，且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。
微波等離子體系統(tǒng)是下列用途的理想方式：
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- 等離子體表面改性
- 有機物表面等離子體清潔
- 邦定強度增強
- 等離子體刻蝕應(yīng)用
- 等離子體灰化應(yīng)用
- 增強或減弱浸潤性
- 其它等離子體系統(tǒng)應(yīng)用
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微波等離子清洗機
詳細信息 >> 產(chǎn)品特點 WB300采用專利高密度微波等離子技術(shù)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理，微波等離子高度活性、高效，且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。 微波等離子體系統(tǒng)是下列用途的理想方式：
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