技術(shù)參數(shù) ◆ 設(shè)備外形尺寸
630(W)×650(D)×420(H)mm
◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(耐熱玻璃或石英玻璃，約10升)Φ215 × 300(L) mm
◆ 電極面積(外置電容耦合或電感耦合電極)180(W) ×210(D) mm
◆ 等離子發(fā)生器(韓國(guó)KM）頻率13.56MHZ,功率0-300W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配
◆ 控制系統(tǒng)
觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)德國(guó)萊寶(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)
SMC截止閥、充氣閥，德國(guó)(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制
◆ 氣路系統(tǒng)2路工藝氣體配置，電子質(zhì)量流量計(jì)、針閥，美國(guó)飛托克(FITOK)氣體管路