聚乙烯醇肉桂酸酯負(fù)型光刻膠具有感光性好，分辨率高，抗蝕性強(qiáng)，與金屬粘接力強(qiáng)等特點(diǎn)。其制法是將此酯溶于有機(jī)溶劑，再加增感劑等配制而成。
一、感光液的配比：
聚乙烯醇肉桂酸酯 2.5g
氯苯 25.0g
田苯 75.0g
5-硝基苊 0.25g

二、柯達(dá)公司提出的典型光刻膠質(zhì)量百分比：
聚乙烯醇肉桂酸酯 8.42
線性酚醛樹脂 0.65
噻脞啉系光刻劑 0.08
對(duì)苯二酚 0.04
一氯苯 71.65
環(huán)己酮 19.16
（備注：上述配方中，加人線性酚醛樹脂在于增加光刻膠對(duì)基材的黏合力和抑制在顯影過程中溶脹）

三、吡啶法配方：
聚乙烯醇 118
吡啶 200mL
肉桂酰氯 50g
    將聚乙烯醇放到吡啶中使其懸濁，在水浴上加熱一晝夜使其溶解，然后加入100mL吡啶，將液溫降至50℃以下，加人熔融的肉桂酰氯50g，在50℃下繼續(xù)攪拌反應(yīng)4h左右，把所生成的黏稠塊狀物溶于4倍丙酮中，過濾后注人水中即得聚乙烯醇肉桂酸酯，將其過濾、水洗、在暗處晾干。

四、堿水溶液法配方：
聚乙烯醇（1mol／L） 100mL
氫氧化鉀（4mol／L） 100mL
丁酮 100mL
甲苯 24mL
肉桂酰氯（1.2mol／L） 116mL
    將聚乙烯醇溶為1moL／L的濃度（按OH基計(jì)），另將氫氧化鉀配成4moL／L的濃度，各取100mL相混合后，加人lOOmL丁酮，在攪拌下加人24mL甲苯和116mL溶有1.2moL（對(duì)羥基）肉桂酰氯的丁酮溶液使其在0～5℃反應(yīng)。

    聚乙烯醇肉桂酸酯的合成：苯基丙烯酸與氯化亞砜進(jìn)行酰氯化，再與聚乙烯醇酯化得聚乙烯醇肉桂酸酯。以三氯乙烯作為顯影劑時(shí)，線性酚醛的效果尤為顯著。線性酚醛的分子量在350～600的范圍內(nèi)，加量是聚乙烯醇肉桂酸酯質(zhì)量的2％～15％，一般取8％。所生成的聚乙烯醇肉桂酸酯會(huì)溶到有機(jī)溶劑層中，反應(yīng)結(jié)束后，靜置則分為兩層，將有機(jī)溶劑滴人甲醇中，即可析出聚合物。
    該聚乙烯醇肉桂酸酯在負(fù)型光刻膠可用在商標(biāo)牌、感光研磨、印刷電路、刻度盤、比例尺、腐蝕凸版中的應(yīng)用及大規(guī)模集成電路、大功率管、可控硅精密器件的光刻加工。